新时达众为兴TBA4894晶圆搬运机器人在半导体行业涂胶显影工艺的应用
2025-07-25
新时达众为兴TBA4894晶圆搬运机器人在半导体行业涂胶显影工艺的应用
项目背景
国际垄断下的国产替代压力：全球涂胶显影机市场长期被东京电子（TEL）、SCREEN（迪恩士）、ASML（通过收购HMI进入Track市场）等公司垄断，占据90%以上份额。中国半导体设备严重依赖进口，面临“卡脖子”风险。新时达众为兴针对涂胶显影机中所需的晶圆搬运环节推出TBA4894大气双臂五轴晶圆机械手助力国产涂胶显影机实现更高制程的突破，助力中国半导体产业链自主可控。
客户需求
1.晶圆盒（Cassette/FOUP）适配问题:标准FOUP（Front Opening Unified Pod）的槽位间距通常为10mm ，但堆叠晶圆需要更大的间距，Z轴行程不足，机械手无法准确抓取或放置堆叠晶圆。
2.工艺兼容性问题:某些工艺（如键合、临时贴合）可能需要在传输过程中保持晶圆间距，Z轴行程不足会影响工艺稳定性。
新时达方案
方案说明
通过对现有的大笔双臂晶圆机械手采用双Z轴结构设计通过分层伸缩，可在不增加机械手本体高度的前提下实现更长的垂直行程。
方案优势
1、满足SEMI标准要求的900mm取片位置需求，适应多层晶圆盒和复杂工艺设备的取放需求
2、采用异面导轨布局和模块化设计，增强了机械刚性，减少了整体尺寸，这种设计尤其适合集约化的半导体设备机台，避免因结构庞大而挤占有限的空间，提升设备布局的灵活性
3、支持多轴联动控制，可同时处理不同高度的取放任务，减少运动切换时间，实现升降与旋转的联动，显著缩短晶圆传输周期，提升产线产能
方案组成
新时达众为兴TBA4894五轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人、驱控一体机、示教器等。
关联产品
TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
项目结果
新时达众为兴TBA4894五轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人适应客户工艺设备中晶圆的取放需求，助力客户打破国际垄断、减少进口核心部件的依赖，实现国产替代的目标；能同时处理不同高度的取放任务，减少运动切换时间，实现升降与旋转的联动，显著缩短晶圆传输周期，助力客户提升产线产能。
联系方式
智慧电梯：400-820-7921
变频驱动：400-821-0325
运动控制：400-809-6368
多关节机器人：400-920-0275
SCARA机器人：400-168-2718
邮箱：[email protected]
地址：上海市嘉定区思义路1560号
