新时达众为兴FA4230晶圆搬运机器人在半导体行业键合工艺的应用
2025-07-25
新时达众为兴FA4230晶圆搬运机器人在半导体行业键合工艺的应用
项目背景
水平多关节晶圆机械手的出现源于半导体制造行业对高精度、高效率、以及复杂操作需求的不断升级，其设计和技术发展主要受以下原因驱动
1、晶圆盒（FOUP）与设备接口多样性：不同设备的装载口（Load Port）高度、间距各异。
2、多工序协同需求：晶圆需在光刻、蚀刻、清洗、检测等设备间频繁传输，多关节结构可灵活适应不同设备的接口位置和姿态。
3、高速运动与低振动：多关节结构（如SCARA型机械臂）通过分轴控制实现高速运动，同时优化动力学模型以抑制振动，缩短晶圆传输时间
客户需求
1、晶圆机械手水平面运动过程中产生的振动对晶圆片造成影响，降低晶圆片的良品率
2、设备布局空间紧促，无法安装行走轴(普通的单关节晶圆机械手需搭配行走轴才能满足晶圆片的搬运需求，行走轴大大加大了设备的体积
新时达方案
方案说明
采用四轴关节设计，通过直线运动与复合运动相结合，在晶圆键合工艺中，实现晶圆在三维空间内的精准定位。其中J2/J3轴联动控制水平面运动轨迹，J4轴独立负责末端执行器的姿态调整，满足晶圆传送过程中对角度补偿的严苛要求。
方案优势
1、采用伺服电机和S曲线加减速控制，实现高速、高精度搬运适应半导体设备（如FOUP Stocker）的狭窄空间需求
2、集成化驱动系统 搭载SC410驱控一体机平台，创新性整合运动控制、伺服驱动和I/O通讯模块。采用多核异构处理器架构，实现1ms实时控制周期，显著提升多轴协同运动的动态响应性能。
3、刚性结构优化 通过有限元分析优化的桁架式机身结构，配合航空级铝合金材料，实现结构刚度提升40%的同时，自重降低25%。三重减震设计有效抑制高频振动，确保10m/s²加速度下的定位稳定性。
方案组成
新时达众为兴4轴大气水平多关节型单臂FA4230晶圆机械手、AC电源、SC410驱控一体机、编程调试电脑等。
关联产品
FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
项目结果
新时达众为兴FA4230晶圆机械手通过关节自由度调整路径，有效避免碰撞，减少了客户生产中的损失；实现高速、高精度搬运，适应不同工位布局的半导体设备。
联系方式
智慧电梯：400-820-7921
变频驱动：400-821-0325
运动控制：400-809-6368
多关节机器人：400-920-0275
SCARA机器人：400-168-2718
邮箱：[email protected]
地址：上海市嘉定区思义路1560号
