TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
- 产品描述
- 规格参数
- 资料下载
-
- 商品名称: TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气晶圆系列
- 负载: 2-5KG
- 臂长: 200-499mm
TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人TBA4894D_TBA系列半导体机器人- ● 采用闭环伺服控制
- ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
- ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长
200/260/320/400mm
额定/最大负载
3kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
-
关键词：
Content update in progress,...
联系方式
智慧电梯：400-820-7921
变频驱动：400-821-0325
运动控制：400-809-6368
多关节机器人：400-920-0275
SCARA机器人：400-168-2718
邮箱：[email protected]
地址：上海市嘉定区思义路1560号