VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
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- 商品名称: VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 真空晶圆系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 500-1000mm
TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人VA5204_VA系列半导体机器人- ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
- ● 采用闭环伺服控制
- ● 末端执行器类型：下托式
- ● 可选配免电池绝对式编码器
臂长
520mm
额定/最大负载
2kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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关键词：
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联系方式
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运动控制：400-809-6368
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