SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人
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- 商品名称: SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气晶圆系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 100-199mm
SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
4轴大气5片晶圆搬运机器人SA25_SA系列半导体机器人- ● 采用闭环伺服控制
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
- ● 末端执⾏器类型：下托式
臂长
250mm
额定/最大负载
5晶圆
搬运物
Φ100~Φ300mm晶圆
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关键词：
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联系方式
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