JC48B_3轴大气晶圆校准器
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- 商品名称: JC48B_3轴大气晶圆校准器
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 校准系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 100-199mm
JC48B_3轴大气晶圆校准器，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
3轴大气晶圆校准器JC48B_JC系列半导体机器人- 采用闭环伺服控制
- 晶圆固定方式：真空吸附
校准晶圆尺寸
Φ100-Φ200mm
校准精度
晶圆中心：±0.1mm
晶圆缺口：±0.1°校准时间
3sec
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关键词：
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