CA26_单轴大气晶圆片盒搬运机器人
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- 商品名称: CA26_单轴大气晶圆片盒搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气片盒系列
- 负载: 1-2KG
- 臂长: 200-499mm
CA单轴大气晶圆片盒搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
单轴大气晶圆片盒搬运机器人CA26_CA系列半导体机器人- ●采用闭环伺服控制
- ●可选配免电池绝对式编码器
- ●可根据设备布局定制臂长
臂长
260mm
额定/最大负载
3kg
搬运物
4~8寸晶圆片盒
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关键词：
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